薄膜的物理性質(zhì)在諸如相變材料、光盤介質(zhì)、熱電材料、發(fā)光二極管(LEDs)、燃料電池、相變存儲器、平板顯示器和半導(dǎo)體行業(yè)等領(lǐng)域和應(yīng)用中變得越來越重要。
所有這些行業(yè)都使用單層或多層設(shè)置,以便賦予設(shè)備特定的功能。由于薄膜的物理性質(zhì)與塊狀材料有很大的不同,因此有必要使用匹配的表征設(shè)備來獲得其與厚度和溫度相關(guān)的性質(zhì)。由于高縱橫比和沉積技術(shù),會發(fā)生額外的邊界和表面散射,導(dǎo)致輸運性能降低。
由于測量要求可能與散裝物料的不同,因此需要使用不同的計量方法。
這種熱導(dǎo)率的降低通常有兩個基本原因。首先,與塊狀單晶相比,許多薄膜合成技術(shù)導(dǎo)致更多的雜質(zhì)、無序和晶界,這些都傾向于降低熱導(dǎo)率。其次,由于邊界散射、聲子泄漏和相關(guān)的相互作用,即使是原子完美的薄膜也會降低熱導(dǎo)率。這兩種基本機制通常對面內(nèi)和面間輸運的影響不同,因此薄膜的導(dǎo)熱性通常是各向異性的,即使對于具有各向同性熱導(dǎo)率的塊狀材料也是如此。
熱電材料用于熱電發(fā)電機,通過溫度梯度將熱能轉(zhuǎn)化為電能。使用熱電優(yōu)值(ZT)來表征熱電材料的性能。為了計算熱電優(yōu)值,必須知道熱導(dǎo)率、電導(dǎo)率和塞貝克系數(shù)。與相同成分的塊狀材料相比,薄膜具有較低的熱導(dǎo)率,而電導(dǎo)率和塞貝克系數(shù)受影響較小,因此 ZT 值較高。
具有不同化學(xué)組成的銻化鉍是眾所周知的半導(dǎo)體熱電材料。采用熱氣相沉積法制備厚度為 142 nm 的 Bi87Sb13 納米層,在 120 ~ 400 K 的溫度范圍內(nèi)測量其熱導(dǎo)率、電導(dǎo)率和 Seebeck 系數(shù)。根據(jù)這些參數(shù)計算 ZT 值,室溫(20 ℃)下 ZT 的最大值為 0.16 。
熱電材料用于熱電發(fā)電機,通過溫度梯度將熱能轉(zhuǎn)化為電能。使用熱電優(yōu)值(ZT)來表征熱電材料的性能。為了計算熱電優(yōu)值,必須知道熱導(dǎo)率、電導(dǎo)率和塞貝克系數(shù)。與相應(yīng)的塊狀材料相比,金屬薄膜具有較低的熱導(dǎo)率,而電導(dǎo)率和塞貝克系數(shù)受影響較小,因此 ZT 值較高。金屬薄膜在工業(yè)上具有廣泛的應(yīng)用,例如用于集成電路的制造。
采用直流磁控濺射法制備了厚度為 100 nm 的金(Au)納米層,在 225 ~ 375 K 的溫度范圍內(nèi)測量其熱導(dǎo)率、電導(dǎo)率和塞貝克系數(shù),由這些參數(shù)計算得到 ZT 值。測得該薄膜的導(dǎo)熱性和導(dǎo)電性約為塊狀材料的一半。結(jié)果表明了經(jīng)典尺寸效應(yīng)的明顯影響,并得到了驗證,與 Wiedemann-Franz 定律完全一致。
鉆石以其優(yōu)異的導(dǎo)熱性能而聞名。CVD(化學(xué)氣相沉積)金剛石樣品通常達到 1000 至 2200 W/(m?K) 之間的熱導(dǎo)率,稀有和高純度樣品甚至高達 3320 W/(m?K) 。這種特性使金剛石成為高性能電子、激光系統(tǒng)和其他需要高效熱管理的應(yīng)用的理想散熱材料。準確測量金剛石樣品的熱導(dǎo)率對于優(yōu)化材料質(zhì)量和了解其在苛刻熱環(huán)境中的性能至關(guān)重要。
為什么鉆石具有如此高的導(dǎo)熱性和熱擴散率?
金剛石的導(dǎo)熱性源于其獨特的原子結(jié)構(gòu)和性質(zhì):
1、強共價鍵:三維四面體結(jié)構(gòu)中的每個碳原子都與其他四個碳原子以共價鍵結(jié)合,形成了一個剛性晶格,可以有效地傳遞熱量。
2、低原子質(zhì)量:碳原子相對較輕,因此可以快速振動,這有利于通過晶格振動(也稱為聲子)快速傳遞熱量。
3、高聲子速度:由于聲子的剛性和強大的原子間作用力,聲子的速度很高,這使得熱能在晶格中傳播得更快。
4、高 Debye 溫度:即使在高溫下,金剛石的結(jié)構(gòu)也能支持高頻振動,從而保持導(dǎo)熱性能。
5、低聲子散射:對稱的晶體結(jié)構(gòu)最大限度地減少了散射,因此聲子可以長距離傳播而不會損失能量。
6、同位素純度:金剛石均勻的原子質(zhì)量進一步減少了散射,從而增強了聲子的傳播。
這些因素使金剛石成為需要高導(dǎo)熱性材料的應(yīng)用的理想選擇,例如電子設(shè)備和高功率激光系統(tǒng)的冷卻。
具有高導(dǎo)熱性的金剛石樣品可以使用林賽斯 TF-LFA L54 進行分析,該分析儀使用頻域熱反射技術(shù)來表征材料的熱性能,并確保在高效散熱至關(guān)重要的應(yīng)用中進行質(zhì)量控制。由于晶粒尺寸、純度和厚度等因素都會影響傳輸性能,因此準確的熱導(dǎo)率測量對于驗證金剛石樣品的質(zhì)量和性能至關(guān)重要。
頻域熱反射法(FDTR)是測量 CVD 金剛石等材料熱導(dǎo)率的首選方法,尤其是在薄膜和微尺寸樣品中,高空間分辨率是必不可少的,林賽斯 TF-LFA L54 是實現(xiàn)這一目的的理想工具。
FDTR 使用調(diào)制激光在樣品中誘導(dǎo)局部加熱,并測量材料在不同調(diào)制頻率下的熱反射響應(yīng)。這項技術(shù)允許研究人員通過模擬金剛石及其界面的熱流來確定其熱導(dǎo)率。
來源:
[1] M. Shamsa, S. Ghosh, I. Calizo, V. Ralchenko, A. Popovich, A. A. Balandin; Thermal conductivity of nitrogenated ultrananocrystalline diamond films on silicon. J. Appl. Phys. April 15, 2008; 103 (8): 083538. https://doi.org/10.1063/1.2907865
[2] Zhang, Chunyan & Vispute, Ratnakar & Fu, Kelvin & Ni, Chaoying. (2023). A review of thermal properties of CVD diamond films. Journal of Materials Science. 58. 1-23 . https://doi.org/10.1007/s10853-023-08232-w.
[3] Wei L, Kuo PK, Thomas RL, Anthony TR, Banholzer WF (1993) Thermal conductivity of isotopically modified single crystal diamond. Phys Rev Lett 70(24):3764-3767. https://doi.org/10.1103/PhysRevLett.70.3764
[4] Pop E, Varshney V, Roy AK (2012) Thermal properties of graphene: fundamentals and applications. MRS Bull 37(12):1273-1281. https://doi.org/10.1557/mrs.2012.203
[5] Mashali F, Languri E, Mirshekari G, Davidson J, Kerns D (2019) Nanodiamond nanofluid microstructural and thermo-electrical characterization. Int Commun Heat Mass Transfer 101:82-88. https://doi.org/10.1016/j.icheatmasstransfer.2019.01.007
[6] Angadi MA, Watanabe T, Bodapati A, Xiao X, Auciello O, Carlisle JA, Eastman JA, Keblinski P, Schelling PK, Phillpot SR (2006) Thermal transport and grain boundary conductance in ultrananocrystalline diamond thin films. J Appl Phys. https://doi.org/10.1063/1.2199974.